- ионная имплантация
-
ионная имплантация
Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц.
[http://www.manual-steel.ru/eng-a.html]
ионная имплантация
Средство для введения легирующих добавок в полупроводниковый материал. Заряженные атомы (ионы) ускоряются в электрическом поле и внедряются в полупроводниковый материал. Данный метод особенно эффективен для создания тонких легированных областей. Такой процесс гораздо точнее, чем диффузионный метод легирования.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
- металлургия в целом
- полупроводниковые приборы
EN
- ion implantation
Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твёрдое тело бомбардировкой его поверхности ускореннымиионами. При ионной бомбардировке мишени наряду с процессами распыления поверхности, ионно ионной эмиссии, образования… … Физическая энциклопедия
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твердое тело при бомбардировке его поверхности направленным пучком ускоренных ионов. Широко применяется в технологии микроэлектроники для создания p n переходов, гетеропереходов и … Энциклопедический словарь
Ионная имплантация — Схема установки для ионной имплантации и селекции ионов по энергии. Ионная имплантация способ введения атомов примесей в поверхностный слой пластины или эпитаксиальной пленки путем бомбардировки ег … Википедия
ионная имплантация — Термин ионная имплантация Термин на английском ion implantation Синонимы ионное внедрение, ионное легирование Аббревиатуры Связанные термины биосовместимые покрытия Определение введение примесных атомов в твердое тело путем его бомбардировки… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Ионная имплантация — 7. Ионная имплантация процесс модификации поверхности, когда легирующий материал ионизируется, ускоряется в электрическом поле и имплантируется в приповерхностный слой подложки. Это определение включает также процессы, в которых ионная… … Официальная терминология
Ионная имплантация — Ion implantation Ионная имплантация. Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. (Источник: «Металлы и сплавы. Справочник.» Под… … Словарь металлургических терминов
ионная имплантация — Ion Implantation Ионная имплантация Способ введения посторонних атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (до 1 МэВ). Имплантируемые ионы внедряются в материал мишени на глубину от 0,01 до … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
ионная имплантация — joninė implantacija statusas T sritis chemija apibrėžtis Priemaišų atomų įterpimas į kietąjį kūną bombarduojant jo paviršių pagreitintų jonų srautu. atitikmenys: angl. ionic implantation rus. ионная имплантация … Chemijos terminų aiškinamasis žodynas
ионная имплантация для формирования эмиттера — emiterio jonų implantavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. emitter ion implantation vok. Emitterimplantation, f rus. ионная имплантация для формирования эмиттера, f pranc. implantation ionique pour formation des zones… … Radioelektronikos terminų žodynas
ионная имплантация через защитный слой оксида — jonų implantavimas pro apsauginį oksido sluoksnį statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. field oxide ion implantation vok. Feldoxidionenimplantation, f rus. ионная имплантация через защитный слой оксида, f pranc. implantation… … Radioelektronikos terminų žodynas